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訪問次 2016-11-08 14:56:42
 

為了使器件獲得高真空,所采用的油擴散泵,固然能保證高的抽速,但它卻存在著許多嚴(yán)重不足之處:有各種碳氫化合物,及其熱裂產(chǎn)物,嚴(yán)重污染真空空間。當(dāng)碳氫化合物存在于電真空器件中時,它們常使器件工作時,極不穩(wěn)定,因而降低了器件的壽命與可靠性。在發(fā)生氣體放電的空間,由于與氣體離子或電子碰撞,而被聚合成碳氫化合物的物質(zhì),會凝聚在器件壁上。當(dāng)有帶電質(zhì)點碰上器件壁,或者在某些工作器件中,受到不斷產(chǎn)生的弱x射線輻照,將會形成像一氧化碳、二氧化碳及氫等這樣的一些氣體。有時會在管子的零件上,因氫還原一氧化碳而形成水蒸汽,因此降低了器件的質(zhì)量。
近年來發(fā)表了許多文章,目的在于改進無油高真空泵和克服油泵的固有缺點。在評述性文章中指出,采用輔助升華泵的離子泵,是發(fā)展真空技術(shù)中有代表性的趨勢,同時在各種結(jié)構(gòu)的高真空泵內(nèi),廣泛地采用鈦合金棒作為吸氣劑。 在離子泵內(nèi)采用鈦合金棒陰極。鈦合金棒的激活作用,是基于離子按擊鈦原子(這時新鮮的鈦層,起著吸氣劑的作用。)和“捕獲”撞上鈦陰極的離子。

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